résolution d'ordre submicronique, avec un rapport de grandissement de x1/10. L'échantillon est positionné en x et y par une table programmable à précision submicronique et en z manuellement avec une précision du micron. Le champ de mise au point toléré par la lentille de projection, situé à 25 mm (distance frontale) est de 4x4 mm. 3 ...
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